VLS系列垂直线性精密位移台

具有自锁机构的垂直使用线性位移台，精度高，垂直负载大，带自锁，集成卓越的50nm分辨率光栅，确保运动具有高度的可重复性和精度，全行程绝对位置定位，高强度材料和硬质表面热处理保证长期强度和稳定性。