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VLS垂直位移台

VLS系列垂直线性精密位移台


具有自锁机构的垂直使用线性位移台,精度高,垂直负载大,带自锁,集成卓越的50nm分辨率光栅,确保运动具有高度的可重复性和精度,全行程绝对位置定位,高强度材料和硬质表面热处理保证长期强度和稳定性。

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