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三轴精密平台

VT-COD立式三轴精密平台


三轴平台重复定位精度优于100纳米,控制系统内嵌在台体内,减少空间占用,行程:50x50x50mm。

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龙门式三轴平台

LM-COD龙门式三轴精密平台


龙门式三轴平台采用XY轴在顶,Z轴垂吊结构,重复定位精度优于200纳米,行程:100x100x300mm。

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