VT-COD立式三轴精密平台

三轴平台重复定位精度优于100纳米，控制系统内嵌在台体内，减少空间占用，行程：50x50x50mm。

LM-COD龙门式三轴精密平台

龙门式三轴平台采用XY轴在顶，Z轴垂吊结构，重复定位精度优于200纳米，行程：100x100x300mm。